DBD介质阴极等离子体清洗机通常在金属电极之间添加绝缘介质材料，形成非平衡气体放电。一般来说，DBD等离子清洗机的电极会选择两个平行的电极，并在其中至少一个电极上覆盖一层介质材料，通过控制电极间距来实现大气压等离子放电的稳定性。

介质阻挡放电等离子体清洗器根据放电气体、激励电压和频率的不同，可以在两电极间产生细丝或辉光等离子体。常用的DBD介质阻挡清洗机的电极结构有多种类型，主要可分为三种：基本电极结构、圆柱电极结构、表面电极结构。我们先来看一下基础电极结构，下图是基础电极结构中较为传统和简单的。常被用作材料表面改性和皇氧发生器，金属电极可提高放电产生热量的传递速度。

还有一种如下图所示，主要用于在同一等离子体发生系统中产生不同的等离子体。

另一种DBD等离子处理设备的电极结构大致如下图所示，等离子体放电在两介质层之间进行，等离子体能够避免与金属电极直接接触。而且这种双介质层与单介质层放电结构相比，等离子体更均匀，放电丝更细，适用于离化腐蚀性气体和产生高纯等离子体。

当DBD等离子清洗机采用圆柱形结构时，一般采用产生低温等离子体炬来完成对不规则材料表面的改性。下图显示了三种常见的圆柱形电极结构。

在实际应用中，表面电极结构主要用于产生表面等离子体，在航天装置的等离子体隐身中较为常见。